[外观设计]搬送基板用保持垫有效
| 申请号： | 201830581475.3 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN305153036S | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 时松彻;寺本聪宽 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | 09-99 | 分类号： | 09-99 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 1．外观设计产品的名称：搬送基板用保持垫。2．外观设计产品的用途：本产品是在半导体制造装置中配置于搬送基板的搬送臂上所使用的保持垫。本产品与搬送臂所搬送的基板的边缘部接触并将基板吸引保持住，防止基板偏离位置或脱落，并且通过使圆锥状部沿着基板面弯曲而使环状凸部与基板接触能够进行吸引保持，进而能够确实地保持存在翘曲的基板。3．外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4．指定的图片或照片：设计1立体图1。5．基本设计：设计1是基本设计。 | ||
| 搜索关键词： | 基板 外观设计 搬送臂 半导体制造装置 环状凸部 基板接触 基板吸引 偏离位置 圆锥状部 边缘部 基板面 翘曲 配置 吸引 图片 | ||
【主权项】：
暂无信息
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