[实用新型]一种喷淋单元及喷淋模块

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开一种喷淋单元及喷淋模块，该喷淋单元包括相互独立设置的喷淋通道和温控通道，喷淋通道用于通入工艺气体并喷出，温控通道用于对工艺气体进行热交换并使其均匀喷出，喷淋单元侧壁上设置有连接装置。该喷淋模块包括多个上述喷淋单元，多个喷淋单元分为第一喷淋单元和第二喷淋单元，第一喷淋单元的连接装置为连接凹槽，第二喷淋单元的连接装置为连接凸台，连接凸台卡入连接凹槽内，多个上述喷淋单元的温控通道相互连通。本实用新型提高了薄膜层质量，降低了喷淋组件的加工难度，成本低，组装便捷，便于满足各种尺寸喷淋组件的加工需求，当喷淋组件局部损坏时，可以进行相应损坏模块的更换，降低了维护成本。

主权项

1.一种喷淋单元，其特征在于，所述喷淋单元包括相互独立设置的喷淋通道和温控通道，所述喷淋通道用于通入工艺气体并喷出，所述温控通道用于对所述工艺气体进行热交换并使其均匀喷出，所述喷淋单元侧壁上设置有用于连接其他所述喷淋单元的连接装置。