[实用新型]一种小弧源靶材快速更换装置

摘要

本实用新型公开了一种小弧源靶材快速更换装置，在所述的小弧源靶材装置的圆周的一侧，在所述的安装法兰上设置若干个弹性夹具；所述的小弧源靶材装置设置在所述的安装法兰上；在所述的小弧源靶材装置的一侧固定所述的转动座；在所述的转动座的两侧设置一段弧形凹槽，在弧形凹槽内设置定位销；所述的定位销固定在所述的滑动块上；在滑动块与转动座通过固定轴固定；在所述的滑动块的中间穿入圆导轨；所述的圆导轨固定在安装法兰上；技术效果在于，小弧源靶材装置能够快速地进行安装，杜绝了由于小弧源靶材会因为多次的紧固拆卸，造成小弧源固定法兰螺纹孔磨损的问题，延长了零部件的使用寿命。同时，用固定轴将小弧源靶材与安装法兰连接在一起，换靶时只需将靶材等主体组件拉出，大大简化了换靶操作，减少了所需时间。

主权项

1.一种小弧源靶材快速更换装置，其特征在于，包括小弧源靶材装置、弹性夹具、转动座、固定轴、圆导轨、滑动块、定位销、安装法兰；在所述的小弧源靶材装置的圆周的一侧，在安装法兰上设置若干个弹性夹具；所述的小弧源靶材装置设置在所述的安装法兰上；在所述的小弧源靶材装置的一侧固定所述的转动座；在所述的转动座的两侧设置一段弧形凹槽，在弧形凹槽内设置定位销；所述的定位销固定在所述的滑动块上；在滑动块与转动座通过固定轴固定；在所述的滑动块的中间穿入圆导轨；所述的圆导轨固定在安装法兰上。