[实用新型]一种小弧源靶材快速更换装置

说明书

本实用新型公开了一种小弧源靶材快速更换装置，在所述的小弧源靶材装置的圆周的一侧，在所述的安装法兰上设置若干个弹性夹具；所述的小弧源靶材装置设置在所述的安装法兰上；在所述的小弧源靶材装置的一侧固定所述的转动座；在所述的转动座的两侧设置一段弧形凹槽，在弧形凹槽内设置定位销；所述的定位销固定在所述的滑动块上；在滑动块与转动座通过固定轴固定；在所述的滑动块的中间穿入圆导轨；所述的圆导轨固定在安装法兰上；技术效果在于，小弧源靶材装置能够快速地进行安装，杜绝了由于小弧源靶材会因为多次的紧固拆卸，造成小弧源固定法兰螺纹孔磨损的问题，延长了零部件的使用寿命。同时，用固定轴将小弧源靶材与安装法兰连接在一起，换靶时只需将靶材等主体组件拉出，大大简化了换靶操作，减少了所需时间。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜装置，尤其涉及一种小弧源靶材快速更换装置。

背景技术

在现有的小弧源靶材的固定装置方面，都是采用螺丝固定方式进行固定，按照现有的技术进行固定的话，在小弧源靶材的更换的时候，没有办法进行快速的更换，在现有的技术中，如果经常采用拆装螺栓的方式进行安装的话，小弧源靶材会因为多次的紧固螺栓，造成小弧源固定法兰上螺纹孔的磨损，没有办法进行紧固，影响装置使用寿命。另外由于更换靶材前整体拆卸小弧源，会耗费很长时间，工作效率较低。

实用新型内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足之处，本实用新型目的实现一种小弧源靶材快速更换装置，其特征在于，包括小弧源靶材装置、弹性夹具、转动座、固定轴、圆导轨、滑动块、定位销、安装法兰；在所述的小弧源靶材装置的圆周的一侧，在所述的安装法兰上设置若干个弹性夹具；所述的小弧源靶材装置设置在所述的安装法兰上；在所述的小弧源靶材装置的一侧固定所述的转动座；在所述的转动座的两侧设置一段弧形凹槽，在弧形凹槽内设置定位销；所述的定位销固定在所述的滑动块上；在滑动块与转动座通过固定轴固定；在所述的滑动块的中间穿入圆导轨；所述的圆导轨固定在安装法兰上。

进一步，所述的弹性夹具还包括手持螺母、固定柱、弹簧、夹板、套柱；在固定柱的下部设置第一螺纹，与所述的安装法兰螺纹连接固定；固定柱嵌入套柱之中；所述的固定柱上设置第一台阶与设置在套柱上的圆孔相抵住；在固定柱的上端设置第二台阶，在第一台阶、第二台阶与套柱之间放置弹簧，在套柱的上部设置第二螺纹；与手持螺母固定连接，在手持螺母的下方设置夹板；夹板的下方设置第三台阶；第三台阶与套柱为一体结构。

进一步，在所述的圆导轨上设置阻挡块。

进一步，所述的弧形凹槽的角度小于等于90°。

进一步，所述的小弧源靶材装置的外壳的外圆上设置一凹槽，用于卡住夹板。

本实用新型装置的技术效果在于，利用了弹性夹具、转动座、固定轴、圆导轨、滑动块、定位销、安装法兰等部件，将小弧源靶材装置能够快速地进行安装，杜绝了由于小弧源靶材会因为多次的紧固拆卸，造成小弧源固定法兰螺纹孔磨损的问题，延长了零部件的使用寿命。同时，用固定轴将小弧源靶材与安装法兰连接在一起，换靶时只需将靶材等主体组件拉出，大大简化了换靶操作，减少了所需时间。

附图说明

图1是本实用新型的在主视方向的立体示意图；

图2是本实用新型的弹性夹具的示意图；

图3是本实用新型的常闭状态下的主视图；

图4是本实用新型的常闭状态下的左视图；

图5是本实用新型的开启状态下的示意图。

具体实施方式