[实用新型]一种小弧源靶材快速更换装置

权利要求书

1.一种小弧源靶材快速更换装置，其特征在于，包括小弧源靶材装置、弹性夹具、转动座、固定轴、圆导轨、滑动块、定位销、安装法兰；在所述的小弧源靶材装置的圆周的一侧，在安装法兰上设置若干个弹性夹具；所述的小弧源靶材装置设置在所述的安装法兰上；在所述的小弧源靶材装置的一侧固定所述的转动座；在所述的转动座的两侧设置一段弧形凹槽，在弧形凹槽内设置定位销；所述的定位销固定在所述的滑动块上；在滑动块与转动座通过固定轴固定；在所述的滑动块的中间穿入圆导轨；所述的圆导轨固定在安装法兰上。

2.如权利要求1所述的一种小弧源靶材快速更换装置，其特征在于，所述的弹性夹具还包括手持螺母、固定柱、弹簧、夹板、套柱；在固定柱的下部设置第一螺纹，与所述的安装法兰螺纹连接固定；固定柱嵌入套柱之中；所述的固定柱上设置第一台阶与设置在套柱上的圆孔相抵住；在固定柱的上端设置第二台阶，在第一台阶、第二台阶与套柱之间放置弹簧，在套柱的上部设置第二螺纹；与手持螺母固定连接，在手持螺母的下方设置夹板；夹板的下方设置第三台阶；第三台阶与套柱为一体结构。

3.如权利要求1所述的一种小弧源靶材快速更换装置，其特征在于，在所述的圆导轨上设置阻挡块。

4.如权利要求1所述的一种小弧源靶材快速更换装置，其特征在于，所述的弧形凹槽的角度小于等于90°。

5.如权利要求1所述的一种小弧源靶材快速更换装置，其特征在于，所述的小弧源靶材装置的外壳的外圆上设置一凹槽，用于卡住夹板。