[实用新型]除尘滚刷及芯片清洗系统有效
| 申请号： | 201822233149.0 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN210160122U | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 李广欣 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04;B08B1/02;B08B3/08;B08B3/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 喻嵘;佛新瑜 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种除尘滚刷及包含有除尘滚刷的芯片清洗系统，其中，所述除尘滚刷包括旋转滚轴和套设于所述旋转滚轴上的刷体，所述旋转滚轴与动力源连接并受其驱动以带动所述刷体旋转，其特征在于,还包括:抽气通道，设置于所述旋转滚轴的轴心方向，其与抽气设备连接；吸收孔，设置于所述刷体上，且与所述抽气通道相连通，以供除尘时的粉尘颗粒通过。本实用新型提供的除尘滚刷，能够大量去除芯片上的粉尘颗粒。 | ||
| 搜索关键词： | 除尘 芯片 清洗 系统 | ||
【主权项】：
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