[实用新型]一种蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 201822229932.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209974869U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 朱治宇 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发镀膜设备，包括：蒸发坩埚，所述蒸发坩埚内设置有用于蒸发的蒸发源；支架，所述蒸发坩埚放置于所述支架上方；加热器层，所述加热器层设置于所述蒸发坩埚的外周；称重装置，所述称重装置设置于所述支架底部，并测量所述蒸发坩埚内蒸发源的当前重量。该蒸发镀膜设备设置了称重装置，能够在工作过程中随时得到蒸发源中原料剩余数量，从而为蒸发源蒸发提供数据支持；同时，该设备中还增设了冷却结构，以提高称重装置的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发坩埚 称重装置 蒸发源 支架 蒸发镀膜设备 加热器层 蒸发 本实用新型 冷却结构 数据支持 外周 测量 增设 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括：/n蒸发坩埚(1)，所述蒸发坩埚(1)内设置有用于蒸发的蒸发源；/n支架(2)，所述蒸发坩埚(1)放置于所述支架(2)上方，所述支架包括至少两个支撑腿；/n加热器层(3)，所述加热器层(3)设置于所述蒸发坩埚(1)的外周；/n称重装置(4)，所述称重装置(4)设置于所述支架(2)底部，并测量所述蒸发坩埚(1)内蒸发源的当前重量，且各所述支撑腿分别作为所述称重装置的称重取样点。/n
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