[实用新型]一种蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 201822229932.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209974869U | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 朱治宇 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 11662 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发坩埚 称重装置 蒸发源 支架 蒸发镀膜设备 加热器层 蒸发 本实用新型 冷却结构 数据支持 外周 测量 增设 | ||
1.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括：
蒸发坩埚(1)，所述蒸发坩埚(1)内设置有用于蒸发的蒸发源；
支架(2)，所述蒸发坩埚(1)放置于所述支架(2)上方，所述支架包括至少两个支撑腿；
加热器层(3)，所述加热器层(3)设置于所述蒸发坩埚(1)的外周；
称重装置(4)，所述称重装置(4)设置于所述支架(2)底部，并测量所述蒸发坩埚(1)内蒸发源的当前重量，且各所述支撑腿分别作为所述称重装置的称重取样点。
2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，还包括隔热板(5)，所述隔热板(5)设置于称重装置(4)与所述蒸发坩埚(1)的底部之间。
3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，还包括冷却层(6)，所述冷却层(6)设置于所述加热器层(3)的外周，且所述冷却层(6)的一端与冷媒连通，另一端与所述隔热板(5)的内腔相连通。
4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，还包括保温层(7)，所述保温层(7)设置于所述冷却层(6)与加热器层(3)之间。
5.根据权利要求1所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述支撑腿为三个，三个所述支撑腿并列设置于所述蒸发坩埚的底部。
6.根据权利要求2所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述隔热板(5)为至少两组，且各所述隔热板(5)沿所述蒸发坩埚的高度方向设置。
7.根据权利要求6所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，相邻两所述隔热板(5)之间具有预设间隙。
8.根据权利要求6所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，各所述隔热板(5)沿所述蒸发坩埚的高度方向均匀设置。
9.根据权利要求1-8任一项所述的蒸发镀膜设备，其特征在于，所述称重装置(4)的数量与所述支撑腿的数量相等，且各所述称重装置一一对应地安装于各所述支撑腿的底部。
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