[实用新型]镀膜系统有效
| 申请号： | 201822228109.7 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209623664U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 马坤 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 谢丽莎 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型是关于镀膜系统。该镀膜系统包括：镀膜室，用于从第一平台获取待镀膜基板进行镀膜，并向第二平台输出已镀膜基板；第一重量传感器，位于所述第一平台，用于测量所述待镀膜基板的第一重量；第二重量传感器，位于所述第二平台，用于测量所述已镀膜基板的第二重量；计算器，连接所述第一重量传感器和所述第二重量传感器，用于根据所述第一重量传感器和所述第二重量传感器测量的所述第一重量和所述第二重量，确定所述已镀膜基板在所述镀膜室内所镀膜层的厚度参数。该技术方案可以实现对已镀膜基板的膜层厚度的实时测量，结构简单，成本低，且为非接触测量，不会损坏膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 重量传感器 镀膜基板 镀膜系统 待镀膜基板 测量 镀膜 膜层 本实用新型 非接触测量 厚度参数 实时测量 计算器 镀膜层 镀膜室 室内 输出 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜系统，其特征在于，包括：镀膜室，用于从第一平台获取待镀膜基板进行镀膜，并向第二平台输出已镀膜基板；第一重量传感器，位于所述第一平台，用于测量所述待镀膜基板的第一重量；第二重量传感器，位于所述第二平台，用于测量所述已镀膜基板的第二重量；计算器，连接所述第一重量传感器和所述第二重量传感器，用于根据所述第一重量传感器和所述第二重量传感器测量的所述第一重量和所述第二重量，确定所述已镀膜基板在所述镀膜室内所镀膜层的厚度参数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，未经北京铂阳顶荣光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201822228109.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：位移传感器的校正装置
- 下一篇：一种纳米晶带材检测装置
