[实用新型]一种用于石英加工的加热槽有效

专利信息
申请号: 201822222093.9 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN209515612U 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 李进 申请(专利权)人: 江苏风日石英科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 代理人: 奚衡宝
地址: 211400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种用于石英加工的加热槽。所述的加热槽包括内槽体、加热芯体、隔热层、外槽体、填料层、旋转体、填料添加口和升降主体,所述的石英料设置在内槽体中。本实用新型结构简单、工作稳定、生产成本低、对石英料全方位加热,方便后期处理,同时,延长了石英料的保温效果,延长了在酸洗过程中的保温时间。
搜索关键词: 加热槽 石英料 本实用新型 石英加工 生产成本低 保温效果 工作稳定 后期处理 加热芯体 升降主体 酸洗过程 填料添加 隔热层 内槽体 填料层 外槽体 旋转体 槽体 加热 保温
【主权项】:
1.一种用于石英加工的加热槽,其特征在于:所述的加热槽包括内槽体、加热芯体、隔热层、外槽体、填料层、旋转体、填料添加口和升降主体,所述的石英料设置在内槽体中;所述的加热槽呈直槽状,所述的内槽体设置在加热槽的内层,覆盖加热槽的内壁和底面,所述的内槽体表面连接有多个加热芯体,所述的加热芯体延伸出内槽体表面;所述的升降主体连接在加热槽底面,所述的升降主体带动内槽体做上下升降运动,所述的升降主体穿过内槽体、填料层和外槽体,所述的升降主体下部连接有弹簧,所述的旋转体设置在升降主体的外侧,所述的旋转体与内槽体相连接,所述的旋转体带动内槽体做旋转,通过改变加热芯体的位置对石英料全面加热;所述的隔热层设置在内槽体的外侧,所述的隔热层外侧设置有填料层,所述的填料层中填充有保温材料,所述的填料层外侧设置外槽体,所述的填料添加口连通至填料层。
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