[实用新型]掺杂一氧化硅的生产设备有效
| 申请号： | 201822200786.8 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209554799U | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈青华;肖旦;房冰 | 申请（专利权）人： | 杭州致德新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/113 | 分类号： | C01B33/113 |
| 代理公司： | 北京久诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11542 | 代理人： | 余罡 |
| 地址： | 311300 浙江省杭州市临安市青*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种掺杂一氧化硅的生产设备，涉及纳米材料制备装置领域，包括反应装置、与所述反应装置管路连通的掺杂源分解器和与所述掺杂源分解器管路连通的掺杂源供给部，所述反应装置上分别设有蒸汽入口和排气口，排气口处设有排气阀。本实用新型结构简单，操作方便，能有效改善掺杂效果，有利于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 反应装置 掺杂源 本实用新型 掺杂 管路连通 生产设备 一氧化硅 分解器 纳米材料制备 排气口处 蒸汽入口 装置领域 供给部 排气阀 排气口 | ||
【主权项】：
1.一种掺杂一氧化硅的生产设备，其特征在于，包括反应装置、与所述反应装置管路连通的掺杂源分解器和与所述掺杂源分解器管路连通的掺杂源供给部，所述反应装置上分别设有蒸汽入口和排气口，排气口处设有排气阀。
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