[实用新型]一种阴极电弧源的机箱水冷却系统有效
| 申请号： | 201822196807.3 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209292465U | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;邓永琪;梁海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决以上由于机箱内部产生的大量的热会影像电源的工作状态的问题，本实用新型提出一种阴极电弧源的机箱水冷却系统，其包括：机箱2、水箱1、冷却水进水阀3、冷却水出水阀4、电磁阀5、压力表6、流量计7、水泵M，其中，机箱2内部含有电源和靶材阴极源，且电源与靶材阴极源电性连接，其特征在于：机箱2的外部设有冷却水管支路，冷却水管支路上分别设有电磁阀5、压力表6和流量计7，且冷却水管支路的一端与水泵M连接，水泵M与水箱1连接，冷却水管支路的另外一端与水箱连接。 | ||
| 搜索关键词： | 机箱 冷却水管 支路 流量计 压力表 水泵 水冷却系统 阴极电弧源 电源 电磁阀 阴极源 水箱 靶材 冷却水出水阀 冷却水进水阀 本实用新型 电性连接 机箱内部 水箱连接 影像 外部 | ||
【主权项】：
1.一种阴极电弧源的机箱水冷却系统，其包括：机箱(2)、水箱(1)、冷却水进水阀(3)、冷却水出水阀(4)、电磁阀(5)、压力表(6)、流量计(7)、水泵M，其中，机箱(2)内部含有电源和靶材阴极源，且电源与靶材阴极源电性连接，其特征在于：机箱(2)的外部设有冷却水管支路，冷却水管支路上分别设有电磁阀(5)、压力表(6)和流量计(7)，且冷却水管支路的一端与水泵M连接，水泵M与水箱(1)连接，冷却水管支路的另外一端与水箱连接。
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