[实用新型]一种阴极电弧源的机箱水冷却系统

权利要求书

1.一种阴极电弧源的机箱水冷却系统，其包括：机箱(2)、水箱(1)、冷却水进水阀(3)、冷却水出水阀(4)、电磁阀(5)、压力表(6)、流量计(7)、水泵M，其中，机箱(2)内部含有电源和靶材阴极源，且电源与靶材阴极源电性连接，其特征在于：机箱(2)的外部设有冷却水管支路，冷却水管支路上分别设有电磁阀(5)、压力表(6)和流量计(7)，且冷却水管支路的一端与水泵M连接，水泵M与水箱(1)连接，冷却水管支路的另外一端与水箱连接。

2.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：水泵M采用轻型立式多级离心泵，水泵M能承受的最高压力为2～5kgf/cm²，扬程为5～10m。

3.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：水箱(1)的内部的循环水的体积为1m³。

4.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：在水泵M与冷却水管支路的一端之间设有冷却水进水阀(3)，冷却水进水阀(3)用于调节水箱(1)中的循环水进入到冷却水管支路的流量。

5.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：在冷却水管支路的另外一端与水箱(1)之间设有冷却水出水阀(4)，冷却水出水阀(4)用于调节冷却水支路中的循环水进入到水箱(1)的流量。

6.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：当只有一个机箱时，冷却水管支路的数量为1个；当机箱的数量为多个时，则冷却水管支路的数量与机箱的数量相等，且各个冷却水支路之间并联。

7.如权利要求6所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：当机箱的数量为多个时，多个冷却水管支路的一端汇流，并与水泵M连接；多个水冷却支路的另外一端汇流，并与水箱(1)连接。

8.如权利要求7所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：多个冷却水支路的一端汇流处与水泵M之间设有冷却水进水阀(3)；多个冷却水支路的另外一端汇流处与水箱(1)之间设有冷却水出水阀(4)。

9.如权利要求1所述的阴极电弧源的机箱水冷却系统，其特征在于：冷却水支路在机箱的外表面呈蛇形分布。