[实用新型]一种掩膜版条纹检查辅助夹具有效
申请号: | 201822195058.2 | 申请日: | 2018-12-26 |
公开(公告)号: | CN209118053U | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 林伟;孙多卫 | 申请(专利权)人: | 成都路维光电有限公司 |
主分类号: | G03F1/84 | 分类号: | G03F1/84 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人: | 胡晓丽 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种掩膜版条纹检查辅助夹具,解决了现有手工持手电筒检验条纹过程中刮伤产品风险非常大而且不可控制问题。本实用新型包括“U型”的底座,底座两侧均通过第一轴承连接有支架体,两个支架体之间用于固定掩膜版,两个支架体上设置有用于连接两个支架体的夹具,夹具为一个横杆,且横杆两侧设置有卡块,夹具大小吻合卡扣在两个支架体上且沿支架体轴向方向移动;横杆底部设置有滑槽,滑槽上设置有滑块,滑块一端凸出滑槽,滑块底部两侧通过弹性装置连接有连接块,两个连接块之间设置有第二轴承,第二轴承上设置有光源;贯穿滑块的凸出部分向下设置轴孔,轴孔内用于放置顶丝,且顶丝通过旋入或者旋出轴孔来调节光源与掩膜版的距离。 | ||
搜索关键词: | 支架体 滑块 夹具 掩膜版 横杆 轴孔 本实用新型 辅助夹具 条纹检查 顶丝 滑槽 光源 轴承 轴向方向移动 弹性装置 底座两侧 固定掩膜 两侧设置 凸出滑槽 向下设置 轴承连接 凸出 手电筒 条纹 刮伤 卡扣 卡块 旋出 旋入 底座 吻合 贯穿 检验 | ||
【主权项】:
1.一种掩膜版条纹检查辅助夹具,包括“U型”的底座(1),所述底座(1)两侧均通过第一轴承(2)连接有支架体(3),其特征在于:两个所述支架体(3)之间用于固定掩膜版(15),两个所述支架体(3)上设置有用于连接两个所述支架体(3)的夹具,所述夹具为一个横杆(4),且所述横杆(4)两侧设置有卡块(5),所述夹具的大小吻合卡扣在两个所述支架体(3)上且沿所述支架体(3)轴向方向移动;所述横杆(4)底部设置有滑槽(6),所述滑槽(6)上设置有滑块(7),所述滑块(7)一端凸出所述滑槽(6),所述滑块(7)底部两侧通过弹性装置(8)连接有连接块(9),两个所述连接块(9)之间设置有第二轴承(10),所述第二轴承(10)上设置有光源(11);贯穿所述滑块(7)的凸出部分向下设置轴孔,所述轴孔内用于放置顶丝(12),且所述顶丝(12)通过旋入或者旋出所述轴孔来调节所述光源(11)与掩膜版(15)的距离。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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