[实用新型]卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置有效

专利信息
申请号: 201822186090.4 申请日: 2018-12-20
公开(公告)号: CN209342064U 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 龚云辉;周旭环;黄娅芳;王光伟;王玉彬;朱俊 申请(专利权)人: 云南北方驰宏光电有限公司
主分类号: G01B11/24 分类号: G01B11/24;B25B11/00
代理公司: 西安东灵通专利代理事务所(普通合伙) 61242 代理人: 朱玲
地址: 655000 *** 国省代码: 云南;53
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摘要: 实用新型提供了一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,涉及光学零件表面面形测量技术领域。具体包括固定主板和抛光模,固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。本实用新型主要针对卧式干涉仪,使其能够测量口径超出其夹持范围的光学元件,使大口径光学零件面形检测不受干涉仪自身限制,而且避免了夹持器对光学零件表面面形的损伤,扩展了加工检测范围,并保证了测量精度。
搜索关键词: 大口径光学零件 抛光模 面形 光学零件表面 夹持固定装置 本实用新型 干涉仪测量 固定主板 光学零件 干涉仪 测量 光学元件 夹持固定 加工检测 面形测量 面形检测 夹持器 连接轴 粘接层 检测 夹持 损伤 口径 保证
【主权项】:
1.一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,其特征在于:包括固定主板和抛光模,所述固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,所述抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。
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