[实用新型]卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置有效
申请号: | 201822186090.4 | 申请日: | 2018-12-20 |
公开(公告)号: | CN209342064U | 公开(公告)日: | 2019-09-03 |
发明(设计)人: | 龚云辉;周旭环;黄娅芳;王光伟;王玉彬;朱俊 | 申请(专利权)人: | 云南北方驰宏光电有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;B25B11/00 |
代理公司: | 西安东灵通专利代理事务所(普通合伙) 61242 | 代理人: | 朱玲 |
地址: | 655000 *** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大口径光学零件 抛光模 面形 光学零件表面 夹持固定装置 本实用新型 干涉仪测量 固定主板 光学零件 干涉仪 测量 光学元件 夹持固定 加工检测 面形测量 面形检测 夹持器 连接轴 粘接层 检测 夹持 损伤 口径 保证 | ||
本实用新型提供了一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,涉及光学零件表面面形测量技术领域。具体包括固定主板和抛光模,固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。本实用新型主要针对卧式干涉仪,使其能够测量口径超出其夹持范围的光学元件,使大口径光学零件面形检测不受干涉仪自身限制,而且避免了夹持器对光学零件表面面形的损伤,扩展了加工检测范围,并保证了测量精度。
技术领域
本实用新型涉及光学零件表面面形测量技术领域,尤其是一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置。
背景技术
随着天文学、航天光学、空间遥感光学以及空间基地目标探测与识别等技术的发展,大口径光学系统的需求越来越广泛,并且对光学元件的口径要求越来越大,精度要求越来越高。但是在光学元件的生产过程中,其口径往往受到检测仪器的限制;并且由于大口径零件自身较重,夹持时相应需要更大的力量,而夹持力过大往往会使得零件表面发生形变,从而影响面形测量。
一般卧式干涉仪测量零件时,零件均通过干涉仪自带夹持器进行夹持,夹持器有最大口径的限制,对于超过这个最大口径的大口径光学零件无法夹持测量,限制了卧式干涉仪的测量范围,并且其自带的夹持器会对零件施加垂直于光轴的压力,容易导致零件表面发生形变,使得测量结果不准确。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,用以解决现有技术中存在的上述问题。
为了达到上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,包括固定主板和抛光模,所述固定主板和抛光模之间通过连接轴固定连接,所述抛光模上通过粘接层粘接待检测光学零件,对待检测光学零件进行夹持固定。
在一种优选的实施方式中,所述粘接层为柏油。
在一种优选的实施方式中,还包括加强筋,所述加强筋通过螺钉固定连接在所述固定主板上。
在一种优选的实施方式中,所述固定主板固定在干涉仪三维测量平台上。
本实用新型的卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置,主要针对卧式干涉仪,使其能够测量口径超出其夹持范围的光学元件,使大口径光学零件面形检测不受干涉仪自身限制,而且对零件面形精度基本没有影响,避免了夹持器的夹持力对光学零件表面面形的损伤,扩展了加工检测范围,并保证了测量精度。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的卧式干涉仪测量大口径光学零件面形的零件夹持固定装置结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型的附图,对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
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