[实用新型]夹爪机构以及基板加工设备

摘要

本实用新型提供了一种夹爪机构以及基板加工设备，包括本体、升降件和用于夹取基板的第一开关夹爪，本体设于升降件的顶端，第一开关夹爪固定于本体的一侧，第一开关夹爪包括相对设置的第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪和第二夹爪均固定于本体上，且第一夹爪位于远离升降件的一侧，第一夹爪远离升降件的一侧设有控制升降件升降的第一基板感应器。本实用新型提供的夹爪机构以及基板加工设备，在第一夹爪设置第一基板感应器，通过第一基板感应器可以感应第一夹爪的上方是否有玻璃，从而能够有效地避免自动模式下和手动模式下第一开关夹爪在升降件的带动升起时，第一开关夹爪会把基板顶碎的现象，对基板进行了有效地保护且不需要对设备进行较大的改动。