[实用新型]防护件和镀膜设备有效
| 申请号： | 201822166037.8 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN210001920U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 见东伟;刘福山;邬英;韩晓琳;张伟 | 申请（专利权）人： | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 037000 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防护件和镀膜设备，该防护件包括基板，依次叠层设置在所述基板上的内层、过渡层和防护层，内层、过渡层和防护层的表面粗糙度依次增大。本实用新型提供的防护件，通过在内层和防护层之间设置过渡层，可以提高防护层的表面粗糙度，使得防护件能够更多地承载溅射物质，减少溅射物质对真空腔室的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 防护层 防护件 过渡层 本实用新型 表面粗糙度 基板 溅射 内层 镀膜设备 依次增大 真空腔室 叠层 承载 污染 | ||
【主权项】：
1.一种防护件，其特征在于，包括基板、依次叠层设置在所述基板上的内层、过渡层和防护层，所述内层、所述过渡层和所述防护层的表面粗糙度依次增大。/n
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