[实用新型]防护件和镀膜设备有效
| 申请号： | 201822166037.8 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN210001920U | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 见东伟;刘福山;邬英;韩晓琳;张伟 | 申请（专利权）人： | 山西米亚索乐装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 037000 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防护层 防护件 过渡层 本实用新型 表面粗糙度 基板 溅射 内层 镀膜设备 依次增大 真空腔室 叠层 承载 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种防护件，其特征在于，包括基板、依次叠层设置在所述基板上的内层、过渡层和防护层，所述内层、所述过渡层和所述防护层的表面粗糙度依次增大。
2.根据权利要求1所述的防护件，其特征在于，所述内层包括氧化铝层，所述内层的表面粗糙度范围为10-15um。
3.根据权利要求2所述的防护件，其特征在于，所述过渡层包括304不锈钢层或316不锈钢层，所述过渡层的表面粗糙度范围为30-40um。
4.根据权利要求3所述的防护件，其特征在于，所述防护层包括铝层，所述防护层的表面粗糙度范围为60-70um。
5.根据权利要求3所述的防护件，其特征在于，所述过渡层的厚度不大于0.5mm。
6.根据权利要求4所述的防护件，其特征在于，所述防护层的厚度不大于0.5mm。
7.根据权利要求1-6任一项所述的防护件，其特征在于，所述基板为钣金件。
8.一种镀膜设备，其特征在于，包括真空腔室和设置在所述真空腔室内的溅射靶，以及安装在所述真空腔室内壁上的如权利要求1-7中任意一项所述的防护件。
9.根据权利要求8所述的镀膜设备，其特征在于，所述防护件可拆卸地安装在所述真空腔室的内壁。
10.根据权利要求8或9所述的镀膜设备，其特征在于，所述真空腔室的每一侧内壁上安装多个所述防护件，其中，多个所述防护件的形状与安装位置的所述真空腔室内壁相匹配。
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