[实用新型]防护件和镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种防护件和镀膜设备，该防护件包括基板，依次叠层设置在所述基板上的内层、过渡层和防护层，内层、过渡层和防护层的表面粗糙度依次增大。本实用新型提供的防护件，通过在内层和防护层之间设置过渡层，可以提高防护层的表面粗糙度，使得防护件能够更多地承载溅射物质，减少溅射物质对真空腔室的污染。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种防护件和镀膜设备。

背景技术

在磁控溅射镀膜过程中，溅射靶的物质会沉积到基片材料上，但也有一部分物质会沉积到真空腔室内壁，为了防止物质沉积到腔室内壁，通常在真空腔室内壁安装防护板，而目前的防护板，通过在基板上设置两个涂层形成，不能承载较多的溅射物质，导致溅射到防护板上物质容易脱落，对真空腔室造成污染。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，镀膜设备真空腔体内的防护板不能承载更多的溅射物质，溅射物质容易脱落而污染真空腔室，因而，本实用新型提供一种防护件，该防护件可以附着更多的溅射物质，减少对真空腔室的污染。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种防护件，包括基板、依次叠层设置在所述基板上的内层、过渡层和防护层，所述内层、所述过渡层和所述防护层的表面粗糙度依次增大。

优选地，所述内层包括氧化铝层，所述内层的表面粗糙度范围为10－15um。

优选地，所述过渡层包括304不锈钢层或316不锈钢层，所述过渡层的表面粗糙度范围为30－40um。

优选地，所述防护层包括铝层，所述防护层的表面粗糙度范围为60－70um。

优选地，所述过渡层的厚度不大于0.5mm。

优选地，所述防护层的厚度不大于0.5mm。

优选地，所述基板为钣金件。

本实用新型还提出一种镀膜设备，该镀膜设备包括真空腔室和设置在真空腔室内的溅射靶，以及安装在所述真空腔室内壁上的如上面所述的防护件。

优选地，所述防护件可拆卸地安装在所述真空腔室的内壁。

优选地，所述真空腔室的每一侧内壁上安装多个防护件，其中，所述防护件的形状与安装位置的所述真空腔室内壁相匹配。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的防护件，在基板上依次叠层设置内层、过渡层和防护层，并且粗糙度逐渐增大，通过设置过渡层，可以对内层与防护层之间粗糙度的变化起到过渡作用，相较于在基板上仅设置内层和防护层的结构，可以将防护层的粗糙度设置的更大，使得溅射到防护层上的溅射物质不容易脱落，从而，防护件能附着更多的溅射物质，减少溅射物质脱落对真空腔室的污染。

2.本实用新型提供的镀膜设备，通过在真空腔室的内壁安装上述的防护件，可以减少磁控溅射产生物质对真空腔室内壁的污染；同时防护件采用可拆卸式的结构设计，当防护件附着溅射物质饱和时，方便进行更换；在真空腔室的每一侧内壁上安装多个防护件，在其中某些防护件附着溅射物质饱和时，可以仅更换该防护件，无需更换全部，更换效率高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中防护件的层状结构示意图；

图2为本实用新型实施例中防护件的结构示意图；