[实用新型]一种高精度检漏装置有效
| 申请号： | 201822131485.4 | 申请日： | 2018-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN209069529U | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 张果;蓝峰;王洪军;姜玉伦;黄凯 | 申请（专利权）人： | 成都东方仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度检漏装置，包括真空箱，所述真空箱为柜式结构，内部放置待检工件，并与抽空装置、检漏装置、控制系统均通过管道连接，并在管道上设有真空阀门，所述抽空装置包括罗茨泵组，对真空箱进行初级抽空至真空度小于10Pa；所述检漏装置为氦质谱检漏仪，检测待检工件的泄漏率；所述控制系统，一方面与真空阀门连接用于控制对真空箱的抽空，另一方面还连接了检漏装置，用于实时监测其测得的泄漏率；所述抽空装置还包括了分子泵组，并与真空箱连接，用于对真空箱进行深度抽空至真空度小于10‑3Pa。本实用新型采用罗茨泵组对真空箱进行初级抽空，之后切换为分子泵对真空箱进行深度抽空，大大提高了检漏精度并达到－11Pam3/s。 | ||
| 搜索关键词： | 真空箱 检漏装置 抽空 抽空装置 本实用新型 待检工件 控制系统 罗茨泵组 真空阀门 泄漏率 氦质谱检漏仪 分子泵组 管道连接 柜式结构 实时监测 分子泵 检漏 检测 | ||
【主权项】：
1.一种高精度检漏装置，包括真空箱（1），所述真空箱（1）用于在其内部放置待检工件，并与罗茨泵组（4）连接，所述罗茨泵组（4）用于对真空箱（1）进行初级抽空；所述真空箱（1）还与检漏仪连接，所述检漏仪用于检测待检工件的泄漏率；所述真空箱（1）还与控制系统连接，所述控制系统与真空阀门连接用于控制对真空箱（1）的抽空，所述控制系统还连接了检漏装置用于实时监测其测得的泄漏率，其特征在于：所述真空箱（1）还连接了分子泵组，所述分子泵组用于对真空箱（1）进行深度抽空。
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