[实用新型]一种高精度检漏装置

说明书

本实用新型公开了一种高精度检漏装置，包括真空箱，所述真空箱为柜式结构，内部放置待检工件，并与抽空装置、检漏装置、控制系统均通过管道连接，并在管道上设有真空阀门，所述抽空装置包括罗茨泵组，对真空箱进行初级抽空至真空度小于10Pa；所述检漏装置为氦质谱检漏仪，检测待检工件的泄漏率；所述控制系统，一方面与真空阀门连接用于控制对真空箱的抽空，另一方面还连接了检漏装置，用于实时监测其测得的泄漏率；所述抽空装置还包括了分子泵组，并与真空箱连接，用于对真空箱进行深度抽空至真空度小于10^‑3Pa。本实用新型采用罗茨泵组对真空箱进行初级抽空，之后切换为分子泵对真空箱进行深度抽空，大大提高了检漏精度并达到－11Pam³/s。

技术领域

本实用新型涉及检漏技术领域，具体地说，是一种高精度检漏装置。

背景技术

泄漏检测技术已广泛应用于现代化的工业生产和日常生活中，如饮水机、空调、冰箱等产品在出厂前都需要进行密封检漏，尤其压力容器在生产过程中检漏是必须进行的一个环节，以保证容器在实际生产中的安全性能，避免生产事故的发生。然而现有检漏装置的检漏精度大概在－9Pam³/s，随着科学技术的发展，不论真空技术领域，还是高压气密性工程，对于部件或系统的气密性要求也随之而提高，从而对于提高其气密性检测精度就显得十分迫切。

实用新型内容

本实用新型提供一种高精度检漏装置，以解决上述现有技术的不足。本装置采用罗茨泵组对真空箱进行初级抽空，之后切换为分子泵对真空箱进行深度抽空，最后达到提高检漏精度的目的。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下技术：

一种高精度检漏装置，包括真空箱，所述真空箱用于在其内部放置待检工件，并与罗茨泵组连接，所述罗茨泵组用于对真空箱进行初级抽空；所述真空箱还与检漏仪连接，所述检漏仪用于检测待检工件的泄漏率；所述真空箱还与控制系统连接，所述控制系统与真空阀门连接用于控制对真空箱的抽空，所述控制系统还连接了检漏装置用于实时监测其测得的泄漏率，其特征在于：所述真空箱还连接了分子泵组，所述分子泵组用于对真空箱进行深度抽空。

进一步，所述分子泵组至少是两个分子泵，且每个分子泵与真空箱连接的管道上均分别设有相应的真空阀门。

进一步，所述罗茨泵组与真空箱相连接的管道上设有第二真空阀门。

进一步，所述分子泵进水口和出水口通过管道与水循环机连接，所述水循环机用于给分子泵降温。

进一步，所述分子泵出气口通过管道还连接有维持泵，所述维持泵用于抽掉分子泵出口处的少量气体。

进一步，所述真空箱还与标准漏孔通过管道连接，并在管道上设有第一真空阀门。

进一步，所述第一真空阀门还与控制系统连接，所述第一真空阀门用于控制校验时气体流量进入真空箱。

进一步，所述控制系统为可编程控制器PLC。

上述技术方案的优点在于：本实用新型通过罗茨泵组对真空箱进行初级抽空至真空度小于10Pa，之后切换为第一分子泵和第二分子泵对真空箱进行深度抽空至真空度小于10^-3Pa，检漏精度由－9Pam³/s提高到－11am³/s。

附图说明

图1是本实用新型的俯视图。

图2是本实用新型的前视图。

图3是本实用新型的左视图。

图4是本实用新型的三维模型图。