[实用新型]一种真空室用降温装置有效
| 申请号： | 201822106312.7 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN209341648U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/02 | 分类号： | F25D1/02;C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空室用降温装置，包括底板、盖板、水冷管，所述底板通过固定柱安装在真空室壁上，在底板朝向真空室一面开有S型迂回弯曲的水冷槽，水冷槽均匀分布在底板上，水冷管穿透真空室壁后嵌在水冷槽中，水冷管进水端和出水端与真空室壁连接处通过密封装置密封，盖板通过螺栓固定在底板上并封住水冷管。本实用新型通过均匀分布的水冷管来降低盖板的温度，通过间接吸收热量的方式来吸收基片表面的温度以达到降温的目的，吸热更加均匀，盖板同时可对水冷管起到保护作用，安装时整体安装，安装维护方便，安装维护时不会有冷却水进入真空室。 | ||
| 搜索关键词： | 水冷管 底板 盖板 真空室 真空室壁 水冷槽 本实用新型 安装维护 降温装置 吸热 基片表面 螺栓固定 吸收热量 整体安装 出水端 固定柱 进水端 冷却水 密封 穿透 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种真空室用降温装置，其特征在于：包括底板、盖板、水冷管，所述底板通过固定柱安装在真空室壁上，在底板朝向真空室一面开有S型迂回弯曲的水冷槽，水冷槽均匀分布在底板上，水冷管穿透真空室壁后嵌在水冷槽中，水冷管进水端和出水端与真空室壁连接处通过密封装置密封，盖板通过螺栓固定在底板上并封住水冷管。
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