[实用新型]一种真空室用降温装置有效
| 申请号： | 201822106312.7 | 申请日： | 2018-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN209341648U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 舒逸;刘光斗;李赞 | 申请（专利权）人： | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 |
| 主分类号： | F25D1/02 | 分类号： | F25D1/02;C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 411100 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 水冷管 底板 盖板 真空室 真空室壁 水冷槽 本实用新型 安装维护 降温装置 吸热 基片表面 螺栓固定 吸收热量 整体安装 出水端 固定柱 进水端 冷却水 密封 穿透 吸收 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空室用降温装置，其特征在于：包括底板、盖板、水冷管，所述底板通过固定柱安装在真空室壁上，在底板朝向真空室一面开有S型迂回弯曲的水冷槽，水冷槽均匀分布在底板上，水冷管穿透真空室壁后嵌在水冷槽中，水冷管进水端和出水端与真空室壁连接处通过密封装置密封，盖板通过螺栓固定在底板上并封住水冷管。
2.如权利要求1所述的一种真空室用降温装置，其特征在于：水冷管进水端和出水端与真空室壁连接处通过可拆卸的静密封装置密封。
3.如权利要求1或2所述的一种真空室用降温装置，其特征在于：包括上下两组拼接在一起的底板、盖板、水冷管，上部水冷管和下部水冷管的出水端和进水端集中设置在一处，下部水冷管从上部底板下方穿过后进入下部的底板中。
4.如权利要求3所述的一种真空室用降温装置，其特征在于：在上部盖板与下部盖板拼接缝处设有护板盖住拼接缝。
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