[实用新型]一种柔性基材磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201822068265.1 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209276622U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 龙志光 | 申请（专利权）人： | 深圳市超为龙科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，包括工作机箱、推拉把手、观测窗、密封门、镀膜装置、镀膜仓、控制箱、置物台、行进轨道，工作机箱箱体上端面安装有镀膜装置、镀膜仓和控制箱，镀膜装置与镀膜仓为电连接且为前后设置安装，镀膜仓左侧电连接安装有控制箱，镀膜仓前端安装有行进轨道，密封门安装在行进轨道上，两个观测窗上下设置安装在密封门门板上，密封门左侧焊接有推拉把手，置物台安装在镀膜仓底端中心位置，一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，本装置设计为镀膜设备，本装置设计为轨道推拉式的密封门，操作方便，安全性好，置物台为圆型设计，便于安装待镀膜材料，且置物台的安装立柱可以根据需求进行位置和数量的调整。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜仓 密封门 置物台 磁控溅射镀膜设备 镀膜装置 柔性基材 行进轨道 控制箱 工作机箱 推拉把手 装置设计 电连接 底端中心位置 本实用新型 轨道推拉式 箱体上端面 安装立柱 便于安装 镀膜材料 镀膜设备 前后设置 观测窗 门板 圆型 焊接 观测 | ||
【主权项】：
1.一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括工作机箱（1）、推拉把手（2）、观测窗（3）、密封门（4）、镀膜装置（5）、镀膜仓（6）、控制箱（7）、置物台（8）、行进轨道（9），工作机箱（1）箱体上端面安装有镀膜装置（5）、镀膜仓（6）和控制箱（7），镀膜装置（5）与镀膜仓（6）为电连接且为前后设置安装，镀膜仓（6）左侧电连接安装有控制箱（7），镀膜仓（6）前端安装有行进轨道（9），密封门（4）安装在行进轨道（9）上，两个观测窗（3）上下设置安装在密封门（4）门板上，密封门（4）左侧焊接有推拉把手（2），置物台（8）安装在镀膜仓（6）底端中心位置。
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