[实用新型]一种柔性基材磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201822068265.1 | 申请日： | 2018-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN209276622U | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 龙志光 | 申请（专利权）人： | 深圳市超为龙科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜仓 密封门 置物台 磁控溅射镀膜设备 镀膜装置 柔性基材 行进轨道 控制箱 工作机箱 推拉把手 装置设计 电连接 底端中心位置 本实用新型 轨道推拉式 箱体上端面 安装立柱 便于安装 镀膜材料 镀膜设备 前后设置 观测窗 门板 圆型 焊接 观测 | ||
1.一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括工作机箱（1）、推拉把手（2）、观测窗（3）、密封门（4）、镀膜装置（5）、镀膜仓（6）、控制箱（7）、置物台（8）、行进轨道（9），工作机箱（1）箱体上端面安装有镀膜装置（5）、镀膜仓（6）和控制箱（7），镀膜装置（5）与镀膜仓（6）为电连接且为前后设置安装，镀膜仓（6）左侧电连接安装有控制箱（7），镀膜仓（6）前端安装有行进轨道（9），密封门（4）安装在行进轨道（9）上，两个观测窗（3）上下设置安装在密封门（4）门板上，密封门（4）左侧焊接有推拉把手（2），置物台（8）安装在镀膜仓（6）底端中心位置。
2.根据权利要求1所述的一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述置物台（8）由安装盘（10）、安装立柱（11）和安装台（12）组成，两个安装盘（10）通过中心位置的转轴安装固定，四个安装台（12）均匀布置在底部的安装盘（10）上，安装立柱（11）安装在安装台（12）上实现固定安装。
3.根据权利要求2所述的一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述安装立柱（11）底端设置由安装槽（13），安装台（12）由安装圆台（14）和复位弹簧（15）组成，复位弹簧（15）安装在安装圆台（14）的杆体上，安装槽（13）与安装圆台（14）的转轴对应设置，安装时安装立柱（11）通过安装槽（13）固定安装在安装圆台（14）上，松开安装立柱（11），复位弹簧（15）将安装立柱（11）顶起，实现了安装立柱（11）的固定安装。
4.根据权利要求1所述的一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，其特征在于，所述行进轨道（9）的轨道末端安装了限位块（16），避免了密封门（4）因误操作滑出轨道。
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