[实用新型]一种柔性基材磁控溅射镀膜设备

说明书

本实用新型公开了一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，包括工作机箱、推拉把手、观测窗、密封门、镀膜装置、镀膜仓、控制箱、置物台、行进轨道，工作机箱箱体上端面安装有镀膜装置、镀膜仓和控制箱，镀膜装置与镀膜仓为电连接且为前后设置安装，镀膜仓左侧电连接安装有控制箱，镀膜仓前端安装有行进轨道，密封门安装在行进轨道上，两个观测窗上下设置安装在密封门门板上，密封门左侧焊接有推拉把手，置物台安装在镀膜仓底端中心位置，一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，本装置设计为镀膜设备，本装置设计为轨道推拉式的密封门，操作方便，安全性好，置物台为圆型设计，便于安装待镀膜材料，且置物台的安装立柱可以根据需求进行位置和数量的调整。

技术领域

本实用新型涉及镀膜领域，特别是一种柔性基材磁控溅射镀膜设备。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点，提供一种柔性基材磁控溅射镀膜设备。为实现上述目的本实用新型采用以下技术方案：

一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，包括工作机箱、推拉把手、观测窗、密封门、镀膜装置、镀膜仓、控制箱、置物台、行进轨道，工作机箱箱体上端面安装有镀膜装置、镀膜仓和控制箱，镀膜装置与镀膜仓为电连接且为前后设置安装，镀膜仓左侧电连接安装有控制箱，镀膜仓前端安装有行进轨道，密封门安装在行进轨道上，两个观测窗上下设置安装在密封门门板上，密封门左侧焊接有推拉把手，置物台安装在镀膜仓底端中心位置。

优选的，所述置物台由安装盘、安装立柱和安装台组成，两个安装盘通过中心位置的转轴安装固定，四个安装台均匀布置在底部的安装盘上，安装立柱安装在安装台上实现固定安装。

优选的，所述安装立柱底端设置由安装槽，安装台由安装圆台和复位弹簧组成，复位弹簧安装在安装圆台的杆体上，安装槽与安装圆台的转轴对应设置，安装时安装立柱通过安装槽固定安装在安装圆台上，松开安装立柱，复位弹簧将安装立柱顶起，实现了安装立柱的固定安装。

优选的，所述行进轨道的轨道末端安装了限位块，避免了密封门因误操作滑出轨道。

与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：一种柔性基材磁控溅射镀膜设备，本装置设计为镀膜设备，本装置设计为轨道推拉式的密封门，操作方便，安全性好，置物台为圆型设计，便于安装待镀膜材料，且置物台的安装立柱可以根据需求进行位置和数量的调整。

附图说明

图1为本实用新型柔性基材磁控溅射镀膜设备的结构示意图。

图2为本实用新型密封门的安装结构示意图。

图3为本实用新型置物台的结构示意图。

图4为本实用新型安装台的结构示意图。

图5为本实用新型行进轨道的结构示意图。

图中：1、工作机箱，2、推拉把手，3、观测窗，4、密封门，5、镀膜装置，6、镀膜仓，7、控制箱，8、置物台，9、行进轨道，10、安装盘，11、安装立柱，12、安装台，13、安装槽，14、安装圆台，15、复位弹簧。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细阐述。