[实用新型]蒸发镀膜装置及镀膜系统有效
| 申请号： | 201822059568.7 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN209323007U | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 王君;郭爱云;汪友林 | 申请（专利权）人： | 沈阳爱科斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/30;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本申请涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种蒸发镀膜装置及镀膜系统，一种蒸发镀膜装置包括镀膜室、抽真空机构和支撑架；所述抽真空机构用于对所述镀膜室抽真空，所述支撑架设置在所述镀膜室的底部，且用于支撑所述镀膜室；所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵；所述机械泵至少设置有两个，至少两个所述机械泵与所述罗茨泵连通，所述罗茨泵的另一端与所述镀膜室连通，所述低温泵至少设置有两个，所述低温泵直接与所述镀膜室连通。本申请以机械泵和罗茨泵构成低真空获得系统，以低温泵为高真空获得系统，从而使占地面积小、结构更加紧凑；除此外，抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵，能耗小，更适合中小型企业使用。 | ||
| 搜索关键词： | 低温泵 镀膜室 机械泵 罗茨泵 蒸发镀膜装置 连通 抽真空机构 抽真空装置 镀膜系统 获得系统 支撑架 镀膜室抽真空 真空镀膜技术 中小型企业 低真空 高真空 申请 紧凑 能耗 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发镀膜装置，其特征在于，包括镀膜室、抽真空机构和支撑架；所述抽真空机构用于对所述镀膜室抽真空，所述支撑架设置在所述镀膜室的底部，且用于支撑所述镀膜室；所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵；所述机械泵至少设置有两个，至少两个所述机械泵与所述罗茨泵连通，所述罗茨泵的另一端与所述镀膜室连通，所述低温泵至少设置有两个，所述低温泵直接与所述镀膜室连通。
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