[实用新型]蒸发镀膜装置及镀膜系统

权利要求书

1.一种蒸发镀膜装置，其特征在于，包括镀膜室、抽真空机构和支撑架；

所述抽真空机构用于对所述镀膜室抽真空，所述支撑架设置在所述镀膜室的底部，且用于支撑所述镀膜室；

所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵和低温泵；

所述机械泵至少设置有两个，至少两个所述机械泵与所述罗茨泵连通，所述罗茨泵的另一端与所述镀膜室连通，

所述低温泵至少设置有两个，所述低温泵直接与所述镀膜室连通。

2.根据权利要求1所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室内部为中空的腔体，所述镀膜室的腔体内部设置有加热组件、电子枪和坩埚组件；

所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧，所述电子枪用于对所述坩埚组件内部物料蒸发；所述镀膜室的腔体内部设置有所述加热组件，所述加热组件用于加快物料蒸发。

3.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的腔体顶部设置有旋转组件，所述旋转组件能够带动带铸件旋转，所述旋转组件包括固定轴和旋转支撑架；所述固定轴固定在所述镀膜室顶部，且与电机连接；所述旋转支撑架设置有多个，多个所述旋转支撑架以所述固定轴为圆心，阵列排布。

4.根据权利要求3所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的侧壁上设置有观察窗，所述观察窗上且靠近所述镀膜室的腔体侧设置有防污挡板。

5.根据权利要求4所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的侧壁上设置有检修门。

6.根据权利要求5所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的外侧壁上设置有水冷组件，水冷组件为蛇形缠绕在镀膜室外侧壁上的水管或水袋。

7.根据权利要求6所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室的腔体内部设置有晶控测厚仪，晶控测厚仪用于检测带铸件厚度。

8.根据权利要求2所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述加热组件设置为卤素灯。

9.根据权利要求5所述的蒸发镀膜装置，其特征在于，所述支撑架的一端设置有阶梯踏板，所述阶梯踏板靠近所述检修门一端设置。

10.一种镀膜系统，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的蒸发镀膜装置。