[实用新型]用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置有效
| 申请号： | 201822032479.3 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN209614568U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 蒋兴桥;马岩;荣宇;李东旭;陈立新 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/146 | 分类号： | B23K26/146 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属微细射流水束与高能激光束耦合加工晶圆的技术领域，特别涉及一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。本实用新型加工效率高，加工质量理想，可满足微水束与激光束耦合加工工艺需求，有效提升晶圆加工工艺水平。 | ||
| 搜索关键词： | 微水 二维微调 本实用新型 安装支架 激光耦合 射流腔体 射流装置 耦合 晶圆加工工艺 高能激光束 固定相接 加工效率 射流水束 中心通孔 微细 激光束 晶圆 加工 | ||
【主权项】：
1.一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述在二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）。
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