[实用新型]用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置有效
申请号: | 201822032479.3 | 申请日: | 2018-12-05 |
公开(公告)号: | CN209614568U | 公开(公告)日: | 2019-11-12 |
发明(设计)人: | 蒋兴桥;马岩;荣宇;李东旭;陈立新 | 申请(专利权)人: | 沈阳仪表科学研究院有限公司 |
主分类号: | B23K26/146 | 分类号: | B23K26/146 |
代理公司: | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人: | 郭元艺 |
地址: | 110043 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微水 二维微调 本实用新型 安装支架 激光耦合 射流腔体 射流装置 耦合 晶圆加工工艺 高能激光束 固定相接 加工效率 射流水束 中心通孔 微细 激光束 晶圆 加工 | ||
1.一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:包括安装支架(1)、二维微调平台(2)及射流腔体(3);所述二维微调平台(2)与安装支架(1)固定相接;所述射流腔体(3)固定置于二维微调平台(2)中部;所述在二维微调平台(2)中心设有中心通孔(22)。
2.根据权利要求1所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:所述二维微调平台(2)包括固定外壳(6)、Y向位移平台(4)、X向位移平台(5)、Y向调节机构(7)及X向调节机构(8);所述固定外壳(6)与安装支架(1)固定相接;所述Y向位移平台(4)与X向位移平台(5)经XY双向导轨(9)滑动相接;所述Y向调节机构(7)及X向调节机构(8)依次分别调节Y向位移平台(4)及X向位移平台(5)的水平位移。
3.根据权利要求2所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:所述射流腔体(3)包括外壳(13)、底座(14)、喷嘴体(15)及玻璃窗口安装结构(16);所述玻璃窗口安装结构(16)套装于底座(14)中心位置;所述喷嘴体(15)固定设于底座(14)下部;所述外壳(13)固定置于底座(14)上部;在所述外壳(13)侧向开有进水孔(23);在所述外壳(13)内部设有环形水槽;所述进水孔(23)与环形水槽相通;在所述底座(14)上均布设有数个通孔(24);所述通孔(24)与所述环形水槽相通;所述玻璃窗口安装结构(16)包括中空水腔结构(17)、玻璃窗口(18)及玻璃压环(19);所述中空水腔结构(17)在圆周方向上设置环形槽(25);在所述环形槽(25)下部均布设置数个半圆形进水槽(26);所述喷嘴体(15)包括喷嘴安装座(20)及喷嘴(21);在所述喷嘴安装座(20)上表面设有中心射线分布水槽(27);所述中心射线分布水槽(27)与半圆形进水槽(26)相对应。
4.根据权利要求3所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:所述进水孔(23)的外径为6mm;所述环形水槽宽度为3mm,深度为2.5mm。
5.根据权利要求4所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:所述通孔(24)为6个,其外径为3mm。
6.根据权利要求5所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:所述环形槽(25)的宽度为4mm,深度为3.8mm;所述半圆形进水槽(26)为6个。
7.根据权利要求6所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:所述喷嘴安装座(20)采用不锈钢材料;所述喷嘴(21)采用人造蓝宝石材料;所述喷嘴(21)外径为2mm;所述喷嘴(21)中心开30~500μm圆孔;所述喷嘴(21)上下表面及圆孔内壁表面粗糙度Ra≤0.014;圆孔边缘倒角≤0.5μm;圆孔长径比≤3。
8.根据权利要求7所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置,其特征在于:在所述底座(14)、外壳(13)及喷嘴体(15)结构上设置环形密封槽。
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