[实用新型]一种光刻机的自动上板装置有效
| 申请号： | 201822027520.8 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN209044304U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 王泽明;邓超略;黄文斌;高尊虎 | 申请（专利权）人： | 深圳市印之明科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 刘汉民 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区西乡*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻机的自动上板装置，能降低操作人员劳动强度，自动上板，提高工作效率，降低废板率，包括取料机构、传送带、放料架、吸附机构和两纠正组件，所述取料机构设于放料架和传送带之间，所述取料机构与吸附机构驱动连接，所述取料机构带动吸附机构在放料架和传送带上方往复移动，所述两纠正组件设于传送带远离放料架的一端的上方，所述纠正组件包括驱动装置和纠正柱，所述两纠正柱相互平齐，所述驱动装置设置在传送带上方，所述驱动装置和纠正柱驱动连接，并带动纠正柱向下移动设于传送带表面或带动纠正柱向上移动设于传送带上方。 | ||
| 搜索关键词： | 传送带 取料机构 放料架 纠正组件 驱动装置 吸附机构 纠正 驱动连接 上板装置 光刻机 本实用新型 传送带表面 工作效率 向上移动 向下移动 废板 平齐 上板 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的自动上板装置，其特征在于：包括取料机构、传送带、放料架、吸附机构和两纠正组件，所述取料机构设于放料架和传送带之间，所述取料机构与吸附机构驱动连接，所述取料机构带动吸附机构在放料架和传送带上方往复移动，所述两纠正组件设于传送带远离放料架的一端的上方，所述纠正组件包括驱动装置和纠正柱，所述两纠正柱相互平齐，所述驱动装置设置在传送带上方，所述驱动装置和纠正柱驱动连接，并带动纠正柱向下移动设于传送带表面或带动纠正柱向上移动设于传送带上方。
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