[实用新型]一种封测设备真空拾取头有效

专利信息
申请号: 201822015822.3 申请日: 2018-12-03
公开(公告)号: CN209216933U 公开(公告)日: 2019-08-06
发明(设计)人: 张巍巍 申请(专利权)人: 江苏格朗瑞科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/683
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215123 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种封测设备真空拾取头,包括安装在封测设备上的旋转部,安装在旋转部上的升降部,由升降部驱动升降的安装座,以及安装在安装座上的真空吸嘴;真空吸嘴包括安装部,与安装部同轴连接的吸取部及轴向设置在安装部外表面的至少一道防呆卡槽,以及设置在防呆卡槽内的定位槽;真空吸嘴通过设置在安装座内的弹簧定位销配合防呆卡槽及定位槽实现防呆定位及锁紧。该实用新型通过在真空吸嘴上设置防呆卡槽及定位槽,并配合设置在安装座内的弹簧定位销,可以有效防止真空吸嘴安装角度不对并可以快速实现定位并快速安装到位,极大提高了安装效率及安装精度。
搜索关键词: 真空吸嘴 防呆卡槽 安装座 封测设备 定位槽 升降 弹簧定位销 真空拾取头 旋转部 本实用新型 安装效率 快速安装 配合设置 同轴连接 轴向设置 防呆 锁紧 驱动 配合
【主权项】:
1.一种封测设备真空拾取头,其特征在于,包括:安装在封测设备上的用于带动整个拾取头旋转的旋转部,安装在所述旋转部上的升降部,由所述升降部驱动升降的安装座,以及安装在所述安装座上的真空吸嘴;所述真空吸嘴包括:安装部,其用于与所述安装座的安装连接,其内部具有真空通孔用于与真空设备导通;与所述安装部同轴连接的吸取部,其与所述安装部内部的真空通孔相互导通;及,轴向设置在所述安装部外表面的至少一道防呆卡槽,以及设置在所述防呆卡槽内的定位槽;所述真空吸嘴通过设置在所述安装座内的弹簧定位销配合所述防呆卡槽及定位槽实现防呆定位及锁紧。
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