[实用新型]曲面反射镜镀膜校正板有效
申请号: | 201821997958.2 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN209481777U | 公开(公告)日: | 2019-10-11 |
发明(设计)人: | 刘洪涛;许斌;马伟生;张博;武鹏 | 申请(专利权)人: | 新乡市百合光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/58;G02B1/10;G02B5/10 |
代理公司: | 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 41139 | 代理人: | 林海 |
地址: | 453003 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种曲面反射镜镀膜校正板,其特征在于:支架对称固定在镀膜机腔体的蒸发源的上面,且支架一端与腔体固定,且支架另一端朝向镀膜体腔体内外伸,所述支架上均匀开有多个用于安装校正板的紧固螺孔,校正板的形状呈鱼骨状,且鱼骨状的脊背面上加工有与支架相同的紧固孔并通过螺栓紧固,且鱼骨状两侧的鱼翅刚好遮挡住镀膜机腔体下面的蒸发源。本技术方案解决了曲面反射镜在镀膜时不均,从而提高镀膜的合格率,提高产品质量。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 支架 曲面反射镜 校正板 鱼骨状 腔体 镀膜机 蒸发源 螺栓 鱼翅 方案解决 紧固螺孔 支架对称 紧固孔 脊背 紧固 体腔 外伸 校正 挡住 合格率 体内 加工 | ||
【主权项】:
1.曲面反射镜镀膜校正板,包括镀膜机膜体、电机、旋转工件盘,蒸发源,其特征在于:支架对称固定在镀膜机腔体的蒸发源的上面,且支架一端与腔体固定,且支架另一端朝向镀膜体腔体内外伸,所述支架上均匀开有多个用于安装校正板的紧固螺孔,校正板的形状呈鱼骨状,且鱼骨状的脊背面上加工有与支架相同的紧固孔并通过螺栓紧固,且鱼骨状两侧的鱼翅刚好遮挡住镀膜机腔体下面的蒸发源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于新乡市百合光电有限公司,未经新乡市百合光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821997958.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种真空镀膜用旋转式开合挡板
- 下一篇:一种用于半导体晶圆片背面蒸锡的行星轮
- 同类专利
- 专利分类