[实用新型]曲面反射镜镀膜校正板

说明书

本实用新型公开了一种曲面反射镜镀膜校正板，其特征在于：支架对称固定在镀膜机腔体的蒸发源的上面，且支架一端与腔体固定，且支架另一端朝向镀膜体腔体内外伸，所述支架上均匀开有多个用于安装校正板的紧固螺孔，校正板的形状呈鱼骨状，且鱼骨状的脊背面上加工有与支架相同的紧固孔并通过螺栓紧固，且鱼骨状两侧的鱼翅刚好遮挡住镀膜机腔体下面的蒸发源。本技术方案解决了曲面反射镜在镀膜时不均，从而提高镀膜的合格率，提高产品质量。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜校正板，特别适用于光学加工曲面反射镜镀膜时使用。

背景技术

目前，光学薄膜制作通常以物理蒸镀法为主，该方法为将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的材料由蒸发源穿越空间，抵达基板表面，材料抵达基板表面后，将沉淀而逐渐形成薄膜，现有的曲面反射镜镀膜是将其基板放入镀膜机反扣在旋转工件盘上，旋转工件盘转动，在转动过程中蒸发源穿越空间抵达基板表面，完成镀膜，由于曲面反射的形状是拱形，在镀膜过程中经常会出现膜层不均匀，进而使得镀膜层均匀性难以保证，从而影响产品质量以及生产效率。

发明内容

本实用新型的任务是提出一种基板镀膜时可以校正，镀膜均匀，提高产品合格率的曲面反射镜镀膜校正板。

本实用新型的任务是这样完成的，其特征在于：支架对称固定在镀膜机腔体的蒸发源的上面，且支架一端与腔体固定，且支架另一端朝向镀膜体腔体内外伸，所述支架上均匀开有多个用于安装校正板的紧固孔，校正板的形状呈鱼骨状，且鱼骨状的脊背面上加工有与支架相同的紧固孔并通过螺栓紧固，且鱼骨状两侧的鱼翅刚好遮挡住镀膜机腔体下面的蒸发源。所述校正板的正反面包裹一层耐火金属层，材质优选锡箔纸。曲面反射镜旋转于支架上固定的校正板位置时，由鱼翅遮挡住蒸发源向曲面反射镜两侧边喷射膜料。

本实用新型具有以下效果：本技术方案解决了曲面反射镜在镀膜时不均，从而提高镀膜的合格率，提高产品质量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；图2是校正板的结构示意图。

图面说明：1、镀膜机腔体，2、蒸发源，3、支架，4、校正板，5、旋转工件盘，6、电机，7、曲面反射镜，8、鱼骨状，9、紧固螺孔，10、鱼翅，11、耐火金属层。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

具体实施例如图1和图2所示，本实施例中，在镀膜中将曲面反射镜扣放在旋转工件盘上进行镀膜，由于曲面反射镜形状呈拱形，曲面的中间部位和两侧边在镀膜时，蒸发源喷射膜料易出现厚度不均，从而造成反射率达不到均匀反射。

为此，本实施例中设计了支架和校正板，且支架对称固定在镀膜机腔体1的蒸发源2的上面，且支架3一端与腔体固定，且支架另一端朝向镀膜体腔体内外伸，所述支架上均匀开有多个用于安装校正板的紧固孔。

所述校正板4的形状呈鱼骨状8，且鱼骨状的脊背上面加工有与支架相同的紧固螺孔9并通过螺栓紧固，且鱼骨状两侧的鱼翅10刚好遮挡住镀膜机腔体下面的蒸发源2，从而校正曲面反射镜两侧边镀膜不均匀现象的产生。

所述校正板的正反面包裹一层耐火金属层11，由于镀膜时，蒸发源发射出的膜料易粘附在校正板的板面上，不易清洗，且镀膜腔体里的温度高达250°，用塑料包裹易溶化，本技术方案优选锡箔纸，耐高温，方便更换。

综上所知，本技术方案由支架3、校正板4、鱼骨状8、鱼翅10、耐火金属层11，克服了现有技术曲面反射镀膜不均匀之缺陷。