[实用新型]一种晶圆切割机除水装置及其晶圆切割机有效
| 申请号： | 201821987519.3 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN210190199U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 刘剑;汤开荣 | 申请（专利权）人： | 成都先进功率半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 四川力久律师事务所 51221 | 代理人： | 刘童笛 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工领域，具体涉及一种晶圆切割机除水装置，包括连为一体的安装部和吹气帘，所述安装部用于将所述吹气帘安装到所述晶圆切割机内部，所述吹气帘为中空结构，所述吹气帘侧壁设有若干气孔，所述吹气帘通过连接管与外接气源连通。通过安装部将装置本体安装到晶圆切割机内部，并对吹气帘通气，吹气帘通过气孔释放气体，加快晶圆切割机内部的空气流动，利用空气流动循环加快露水蒸发，增加了设备零部件的使用寿命，本装置结构简单，成本低且效果明显，节约人力还高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 装置 及其 | ||
【主权项】：
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