[实用新型]一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置有效
| 申请号： | 201821949393.0 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209783244U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 陶春阳;白云平 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能(成都)有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B21/12;F26B21/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人： | 杨保刚 |
| 地址： | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机，还包括设置在风机出风口的加热器，加热器出风口连接有风管，风管的尾端分别连接有上风刀和下风刀，风机还连接有风速控制装置，加热器还连接有加热温度控制装置。本实用新型装置采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，提升烘干效率。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 风机 本实用新型 风管 加热温度控制装置 风速控制装置 硅片烘干装置 风机出风口 风速控制 烘干效率 烘干装置 刻蚀设备 控制系统 出风口 上风刀 下风刀 烘干 风刀 尾端 | ||
【主权项】：
1.一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机(1)，其特征在于：还包括设置在风机出风口的加热器(2)，加热器出风口连接有风管(3)，风管(3)的尾端分别连接有上风刀(4)和下风刀(5)，风机(1)还连接有风速控制装置，加热器(2)还连接有加热温度控制装置。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通威太阳能(成都)有限公司，未经通威太阳能(成都)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821949393.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：触摸屏蚀刻用风刀干燥装置
- 下一篇：一种预防冬季外胶气泡的装置
