[实用新型]一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置

说明书

本实用新型公开了一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机，还包括设置在风机出风口的加热器，加热器出风口连接有风管，风管的尾端分别连接有上风刀和下风刀，风机还连接有风速控制装置，加热器还连接有加热温度控制装置。本实用新型装置采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，提升烘干效率。

技术领域

本实用新型属于刻蚀SCHMID设备技术领域，具体涉及一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置。

背景技术

单晶产品在刻蚀SCHMID设备制程中通过：去除硅片背面和边缘的PN结，使硅片上下两面绝缘。去除扩散形成的PSG。其烘干系统采用热风机鼓风后送到风刀由风刀将热风均匀吹撒在硅片上下表面，达到烘干硅片效果。SCHMID刻蚀设备的产能很大部分取决于其滚轮带速，而目前滚轮带速的提升完全受制于其风烘干装置的烘干效果。硅片进过风刀的速度越慢，烘干时间就越长，烘干效果便越好，但产量就越小。反之产量越大。烘干效果便越差。欲达到更大的产量必要提示烘干系统的烘干效率，目前设备本身具有两组风刀烘干，但是目前现有的烘干装置安装的空间有限，两组风刀装置的安装位置很难根据硅片调整，烘干时难以达到最佳的角度和位置，且现有烘干装置的风量和温度也不好进行控制，使得硅片的烘干效率还有很大的提升空间。

发明内容

本实用新型的目的在于：解决目前SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置采用两组风刀的装置，安装有很大的局限性，且风刀风量和温度不好控制，导致硅片的烘干效率不高的问题，提出一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，很好地提升烘干效率，降低了硅片带液不良率。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种SCHMID刻蚀设备硅片烘干装置，包括风机，还包括设置在风机出风口的加热器，加热器出风口连接有风管，风管的尾端分别连接有上风刀和下风刀，风机还连接有风速控制装置，加热器还连接有加热温度控制装置。

进一步，所述风机包括第一风机和第二风机，加热器包括第一加热器和第二加热器，风管包括第一风管和第二风管，第一风机和第二风机出风口分别设置有第一加热器和第二加热器，第一加热器和第二加热器都分别连接有第一风管和第二风管，第一风管和第二风管的尾端分别连接上风刀和下风刀，第一风机和第二风机分别连接有风速控制装置，第一加热器和第二加热器分别连接有加热温度控制装置。

进一步，所述风速控制装置包括变频器和用于设定风机速度的模拟量发生器。

进一步，所述加热温度控制装置包括温度控制器和热继电器。

进一步，所述温度控制器及热继电器控制模式为PID模式。

进一步，所述加热器的出风口设置有与加热温度控制装置连接的温度探头，温度探头将温度信号传送至加热温度控制装置。

进一步，所述风机上设置有时间继电器，时间继电器采用延时关闭的模式控制风机工作。

进一步，所述风机采用的电机为三相异步电动机。

进一步，所述上风刀和下风刀距离为3-8cm。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，装置采用一组独立的上下风刀烘干装置，在有限空间里完成风机、控制系统和风刀的安装，并通过风速控制和温度控制达到更好的烘干效果，提升烘干效率，降低了硅片带液不良率，且其控制及运行不依赖设备，可独立开启关闭和调节；

2、本实用新型中，上下风刀连接单独的风机和控制系统，风量和出风温度都可以单独调控，控制更加方便，利用率和烘干效果也会更好；