[实用新型]一种蒸发铝材料用的坩埚易清理的保护罩有效
申请号: | 201821944538.8 | 申请日: | 2018-11-24 |
公开(公告)号: | CN209522904U | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 杜宝胜 | 申请(专利权)人: | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 宋翡翠 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种蒸发铝材料用的坩埚易清理的保护罩,其结构包括单穴位坩埚体和保护罩,所述保护罩顶部前后两侧中部通过卡块与单穴位坩埚体之间进行间隙配合使单穴位坩埚体与保护罩进行扣接,本实用新型的一种蒸发铝材料用的坩埚易清理的保护罩,通过设置了保护罩,将单穴位坩埚体与保护罩进行安装,单穴位坩埚体经过长时间蒸发镀膜后,蒸发的铝材料堆积在保护罩底部,然后将单穴位坩埚体上的保护罩进行更换,并且对取下的保护罩进行清理,解决了现有技术存在的时间浪费,部件损伤,部件损坏和作业时间久的问题。 | ||
搜索关键词: | 保护罩 单穴位 坩埚体 铝材料 蒸发 易清理 坩埚 本实用新型 部件损坏 间隙配合 蒸发镀膜 卡块 扣接 取下 堆积 损伤 | ||
【主权项】:
1.一种蒸发铝材料用的坩埚易清理的保护罩,包括单穴位坩埚体(1),其特征在于:还包括保护罩(2),所述保护罩(2)顶部前后两侧中部通过卡块与单穴位坩埚体(1)之间进行间隙配合使单穴位坩埚体(1)与保护罩(2)进行扣接。
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