[实用新型]一种四穴位坩埚易清理的保护罩有效
申请号: | 201821944487.9 | 申请日: | 2018-11-24 |
公开(公告)号: | CN209522903U | 公开(公告)日: | 2019-10-22 |
发明(设计)人: | 杜宝胜 | 申请(专利权)人: | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人: | 宋翡翠 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种四穴位坩埚易清理的保护罩,其结构包括坩埚和坩埚套,所述坩埚顶部右侧的火山口处通过螺栓与坩埚套进行螺纹连接,本实用新型的一种四穴位坩埚易清理的保护罩,通过设置了坩埚套,将坩埚套与坩埚进行安装,坩埚经过长时间蒸发镀膜后,金属材料堆积在坩埚套底部,然后将坩埚上的坩埚套进行更换,并且对取下的坩埚套进行清理,解决了对坩埚日久敲击造成损伤和增加维修成本,需要停工处理造成生产时间浪费的问题。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 坩埚套 保护罩 易清理 穴位 本实用新型 金属材料 螺栓 螺纹连接 维修成本 蒸发镀膜 火山口 敲击 取下 堆积 停工 损伤 生产 | ||
【主权项】:
1.一种四穴位坩埚易清理的保护罩,包括坩埚(1),其特征在于:还包括坩埚套(2),所述坩埚(1)顶部右侧的火山口处通过螺栓与坩埚套(2)进行螺纹连接。
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