[实用新型]一种四穴位坩埚易清理的保护罩有效

专利信息
申请号: 201821944487.9 申请日: 2018-11-24
公开(公告)号: CN209522903U 公开(公告)日: 2019-10-22
发明(设计)人: 杜宝胜 申请(专利权)人: 苏州佑伦真空设备科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 代理人: 宋翡翠
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 坩埚 坩埚套 保护罩 易清理 穴位 本实用新型 金属材料 螺栓 螺纹连接 维修成本 蒸发镀膜 火山口 敲击 取下 堆积 停工 损伤 生产
【说明书】:

实用新型公开了一种四穴位坩埚易清理的保护罩,其结构包括坩埚和坩埚套,所述坩埚顶部右侧的火山口处通过螺栓与坩埚套进行螺纹连接,本实用新型的一种四穴位坩埚易清理的保护罩,通过设置了坩埚套,将坩埚套与坩埚进行安装,坩埚经过长时间蒸发镀膜后,金属材料堆积在坩埚套底部,然后将坩埚上的坩埚套进行更换,并且对取下的坩埚套进行清理,解决了对坩埚日久敲击造成损伤和增加维修成本,需要停工处理造成生产时间浪费的问题。

技术领域

本实用新型是一种四穴位坩埚易清理的保护罩,属于坩埚保护罩领域。

背景技术

在镀膜机四穴位蒸发镀膜过程中侧,经过几个小时长时间蒸发镀膜后,四穴坩埚的火山口位置堆积了很多金属材料,需要及时人工干预清理,需要借助尖锐的工具进行敲击,使其剥落,此过程中会产生以下几个问题:一是日久敲击后坩埚内壁将伤痕累累,粗糙度比新品更粗糙,反而增加了金属膜的粘附性,更加不易清理,二是清理至少需要停滞30分钟左右的清理时间,每3批次生产就要清理,一天至少要敲击3到4次,直接就造成了120分钟左右的生产时间浪费,三是日积月累的敲击后,会增加坩埚内壁以及附属部件的损坏风险,维修成本高昂。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种四穴位坩埚易清理的保护罩,以解决现有技术对坩埚日久敲击造成损伤和增加维修成本,需要停工处理造成生产时间浪费的问题。

为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种四穴位坩埚易清理的保护罩,包括坩埚和坩埚套,所述坩埚顶部右侧的火山口处通过螺栓与坩埚套进行螺纹连接。

进一步地,所述坩埚套的尺寸为长117.7mm*宽100.5mm*高28mm。

进一步地,所述坩埚套的厚度为1mm。

本实用新型的一种四穴位坩埚易清理的保护罩,通过设置了坩埚套,将坩埚套与坩埚进行安装,坩埚经过长时间蒸发镀膜后,金属材料堆积在坩埚套底部,然后将坩埚上的坩埚套进行更换,并且对取下的坩埚套进行清理,解决了对坩埚日久敲击造成损伤和增加维修成本,需要停工处理造成生产时间浪费的问题。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:

图1为本实用新型俯视的结构示意图;

图2为本实用新型剖面的结构示意图;

图3为本实用新型坩埚套俯视的结构示意图;

图4为本实用新型坩埚套主视的结构示意图;

图5为本实用新型坩埚套A-A局部剖视的结构示意图。

图中:坩埚-1、坩埚套-2。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。

请参阅图1、图2、图3、图4与图5,本实用新型提供一种四穴位坩埚易清理的保护罩:包括坩埚1和坩埚套2,所述坩埚1顶部右侧的火山口处通过螺栓与坩埚套2进行螺纹连接。

其中,所述坩埚套2的尺寸为长117.7mm*宽100.5mm*高28mm。

其中,所述坩埚套2的厚度为1mm。

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