[实用新型]一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台

摘要

本实用新型公开了一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台，包括下支架、旋转台、旋转驱动组件、位置感应组件、定位组件、平移传送组件、上支架、控制器，旋转台通过旋转驱动组件与下支架连接，旋转驱动组件包括旋转轴承、轴承座、旋转驱动马达；位置感应组件包括位置传感器以及固定在旋转台底面的感应块；定位组件包括固定在下支架上的定位气缸以及设置在旋转台底面的档条；平移传送组件安装旋转台上，包括安装座、平移滚轮、平移驱动马达，在安装座的两末端还各设有一限位气缸；上支架安装在旋转台上，在与平移传送组件对应位置安装有磁导向单元。本实用新型能快速高效地实现单块玻璃两个面的转换，在转换过程中定位精准、运行平稳。

主权项

1.一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台，其特征在于：包括下支架、旋转台、旋转驱动组件、位置感应组件、定位组件、平移传送组件、上支架、控制器，所述旋转台通过旋转驱动组件与下支架连接，旋转驱动组件包括与旋转台固定的旋转轴承、与旋转轴承配合并固定在下支架上的轴承座、安装在轴承座上与转轴承连接的旋转驱动马达，旋转驱动马达通过旋转轴承带动旋转台转动；所述位置感应组件包括固定在下支架上的位置传感器以及固定在旋转台底面的感应块；所述定位组件包括固定在下支架上的定位气缸以及设置在旋转台底面的档条，档条与定位气缸配合当旋转台处于标准工位时档条与定位气缸垂直；所述平移传送组件安装旋转台上，包括安装座、设置在安装座上的平移滚轮、驱动平移滚轮转动的平移驱动马达，在安装座的两末端还各设有一限位气缸；所述上支架安装在旋转台上，在上支架上与平移传送组件对应位置安装有磁导向单元；所述控制器接收位置传感器信号并控制旋转驱动马达、定位气缸、平移驱动马达、限位气缸动作。