[实用新型]一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台

说明书

本实用新型公开了一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台，包括下支架、旋转台、旋转驱动组件、位置感应组件、定位组件、平移传送组件、上支架、控制器，旋转台通过旋转驱动组件与下支架连接，旋转驱动组件包括旋转轴承、轴承座、旋转驱动马达；位置感应组件包括位置传感器以及固定在旋转台底面的感应块；定位组件包括固定在下支架上的定位气缸以及设置在旋转台底面的档条；平移传送组件安装旋转台上，包括安装座、平移滚轮、平移驱动马达，在安装座的两末端还各设有一限位气缸；上支架安装在旋转台上，在与平移传送组件对应位置安装有磁导向单元。本实用新型能快速高效地实现单块玻璃两个面的转换，在转换过程中定位精准、运行平稳。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台。

背景技术

镀膜玻璃是一种在玻璃表面上镀一层或多层金属氧化物薄膜，使其具有一种或多种功能的玻璃深加工产品。磁控溅射镀膜是目前广泛采用的一种生产镀膜玻璃的方法。磁控溅射镀膜是在真空条件下电离惰性气体，气体离子在电场的作用下轰击金属靶材，使金属原子沉积到玻璃表面上。在镀膜生产线中，当单块玻璃需要双面镀膜时，在单块玻璃一面完成镀膜后，需要将玻璃翻转转换，然后对另外一面进行镀膜处理。为提高提高工作效率、节约占地面积，需要通过一旋转平台来实现玻璃面的转换。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种效率高、运行平稳，能实现镀膜玻璃面转换的立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台。

本实用新型采用的技术方案如下：一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台，包括下支架、旋转台、旋转驱动组件、位置感应组件、定位组件、平移传送组件、上支架、控制器，

所述旋转台通过旋转驱动组件与下支架连接，旋转驱动组件包括与旋转台固定的旋转轴承、与旋转轴承配合并固定在下支架上的轴承座、安装在轴承座上与旋转轴承连接的旋转驱动马达，旋转驱动马达通过旋转轴承带动旋转台转动；

所述位置感应组件包括固定在下支架上的位置传感器以及固定在旋转台底面的感应块；

所述定位组件包括固定在下支架上的定位气缸以及设置在旋转台底面的档条，档条与定位气缸配合当旋转台处于标准工位时档条与定位气缸垂直；

所述平移传送组件安装旋转台上，包括安装座、设置在安装座上的平移滚轮、驱动平移滚轮转动的平移驱动马达，在安装座的两末端还各设有一限位气缸；

所述上支架安装在旋转台上，在上支架上与平移传送组件对应位置安装有磁导向单元；

所述控制器接收位置传感器信号并控制旋转驱动马达、定位气缸、平移驱动马达、限位气缸动作。

进一步地，在旋转轴承侧还设有到位油压缓冲气缸，所需控制器控制到位油压缓冲气缸动作。

本实用新型的立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台能快速高效地实现单块玻璃两个面的转换，在转换过程中玻璃框架定位精准、运行平稳，避免了玻璃在转换过程中产生晃动而出现破碎的情况。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的侧面示意图。

图3是本实用新型的俯视示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下文将结合说明书附图和较佳的实施例对本实用新型作更全面、细致地描述，但本实用新型的保护范围并不限于以下具体的实施例。

如图1—图3所示，本实施例的一种立式磁控溅射镀膜生产线用旋转平台，包括下支架1、旋转台2、旋转驱动组件、位置感应组件、定位组件、平移传送组件、上支架7、控制器9，