[实用新型]一种可实现快速降温的立式镀膜炉体系统

摘要

本实用新型公开一种可实现快速降温的立式镀膜炉体系统，每一炉体对应一升降舟装置、一第一移送装置布置；炉体包括炉管、舟、炉门；所述舟与炉管分离设计，舟与炉门连接；升降舟装置设于炉管一侧，用于驱动炉门带动舟退出或进入炉管；若干第一移送装置沿第二移送装置的长度方向布置，第一移送装置的一端与升降舟装置连接，另一端与第二移送装置连接；第一移送装置用于驱动炉门带动舟在升降舟装置与第二移送装置之间移送；第二移送装置用于驱动炉门带动舟在第一移送装置与上下料工位之间移送。本实用新型采用分离式立式管式炉，舟可移出炉管装卸载硅片，省去了炉管内插片和舟在炉管内冷却占用的炉管时间，提高了炉管的利用率，提高了产能。

主权项

1.一种可实现快速降温的立式镀膜炉体系统，其特征在于，包括若干炉体、若干升降舟装置、若干第一移送装置、一第二移送装置；每一炉体对应一升降舟装置、一第一移送装置布置；所述炉体包括炉管、舟、炉门；所述舟与炉管分离设计，舟与炉门连接；所述升降舟装置设于炉管一侧，用于驱动炉门带动舟退出或进入炉管；所述若干第一移送装置沿第二移送装置的长度方向布置，第一移送装置的一端与升降舟装置连接，另一端与第二移送装置连接；所述第一移送装置用于驱动炉门带动舟在升降舟装置与第二移送装置之间移送；所述第二移送装置用于驱动炉门带动舟在第一移送装置与上下料工位之间移送。