[实用新型]一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备有效
| 申请号： | 201821864755.6 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN208848869U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 张克华;庄千洋;李春茂;马佳航;朱苗苗 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 321000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备，包括复合阴极刀具、绝缘板和电解池，复合阴极刀具底端伸入电解池的电解液内；复合阴极刀具底端设置有不锈钢衬底，绝缘板安装在电解池内，并置于不锈钢衬底底端；电解池外接有电解电源，电解电源的正极与不锈钢衬底电连，电解电源的负极与复合阴极刀具电连。本实用新型提高了不锈钢衬底的抛光效率和精度，从而提高了太阳能电池对光的吸收率。 | ||
| 搜索关键词： | 不锈钢衬 复合阴极 电解池 刀具 电解电源 底端 本实用新型 电化学机械 复合抛光 绝缘板 电连 吸收率 正极 太阳能电池 抛光效率 负极 电解液 伸入 外接 | ||
【主权项】：
1.一种电化学机械复合抛光不锈钢衬底的设备，其特征在于，包括：复合阴极刀具(1)、绝缘板(2)和电解池(3)，其中，所述复合阴极刀具(1)底端伸入所述电解池(3)的电解液内；所述复合阴极刀具(1)底端设置有不锈钢衬底(4)，所述绝缘板(2)安装在所述电解池(3)内，并置于所述不锈钢衬底(4)底端；所述电解池(3)外接有电解电源(6)，所述电解电源(6)的正极与所述不锈钢衬底(4)电连，所述电解电源(6)的负极与所述复合阴极刀具(1)电连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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