[实用新型]一种片上微型X射线源有效
| 申请号： | 201821855698.5 | 申请日： | 2018-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN208923024U | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 魏贤龙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01J35/08 | 分类号： | H01J35/08;H01J35/04;H01J35/24;H01J9/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 赵秀芹;王宝筠 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种片上微型X射线源，该X射线源基于片上微型电子源，该片上微型电子源可以采用微加工技术加工得到。因此，相较于现有技术中采用传统机械加工技术制成的片上微型X射线源，本申请提供的片上微型X射线源可以采用微加工技术加工得到，因此，其尺寸能够进一步减小，而且能够降低制备成本。而且，该片上微型X射线源具有X射线剂量稳定、工作真空要求低、开关响应快、可集成、可批量加工等优点，可应用于小型便携的各类X射线检测分析和治疗设备。 | ||
| 搜索关键词： | 微加工技术 微型电子 加工 传统机械 工作真空 开关响应 批量加工 治疗设备 便携的 可集成 减小 制备 申请 应用 分析 | ||
【主权项】：
1.一种片上微型X射线源，其特征在于，包括：片上微型电子源；位于所述片上微型电子源发射电子一侧的第一绝缘间隔体，所述第一绝缘间隔体为腔体结构；位于所述第一绝缘间隔体上的阳极；其中，所述片上微型电子源和所述阳极之间形成封闭真空腔体。
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