[实用新型]天车装置及物料搬送装置有效
| 申请号: | 201821846176.9 | 申请日: | 2018-11-09 |
| 公开(公告)号: | CN209065300U | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
| 发明(设计)人: | 卓飞 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号: | B66C15/06 | 分类号: | B66C15/06;B66C15/00;B66C13/16;B66C1/10;B66C13/08 |
| 代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本公开提供一种天车装置及物料搬送装置。该天车装置包括行驶组件、抓取组件、升降机构、第一检测装置以及控制装置。该行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动。该抓取组件用于抓取或松开晶圆盒。该升降机构连接于行驶组件与抓取组件之间,用于驱动抓取组件在竖直方向上移动。该第一检测装置在水平方向上位于抓取组件的一侧,并与抓取组件连接,用于检测第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物,且在第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时,发出第一信号。该控制装置用于在接收到第一信号时,控制抓取组件保持松开状态。本公开能够避免由于晶圆盒的盖体未关闭所引发的安全事故。 | ||
| 搜索关键词: | 抓取组件 检测装置 天车装置 行驶组件 搬送装置 控制装置 升降机构 晶圆盒 障碍物 预设 抓取 安全事故 轨道移动 松开状态 悬空设置 盖体未 上移动 松开 竖直 驱动 检测 | ||
【主权项】:
1.一种天车装置,其特征在于,包括:行驶组件,所述行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动;抓取组件,所述抓取组件用于抓取或松开晶圆盒;升降机构,所述升降机构连接于所述行驶组件与所述抓取组件之间,用于驱动所述抓取组件在竖直方向上移动;第一检测装置,所述第一检测装置在水平方向上位于所述抓取组件的一侧,并与所述抓取组件连接,用于检测所述第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物,且在所述第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时,发出第一信号;控制装置,所述控制装置用于在接收到所述第一信号时,控制所述抓取组件保持松开状态。
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