[实用新型]天车装置及物料搬送装置

说明书

本公开提供一种天车装置及物料搬送装置。该天车装置包括行驶组件、抓取组件、升降机构、第一检测装置以及控制装置。该行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动。该抓取组件用于抓取或松开晶圆盒。该升降机构连接于行驶组件与抓取组件之间，用于驱动抓取组件在竖直方向上移动。该第一检测装置在水平方向上位于抓取组件的一侧，并与抓取组件连接，用于检测第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物，且在第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时，发出第一信号。该控制装置用于在接收到第一信号时，控制抓取组件保持松开状态。本公开能够避免由于晶圆盒的盖体未关闭所引发的安全事故。

技术领域

本公开涉及半导体集成电路中自动物料搬送技术领域，尤其涉及一种天车装置及物料搬送装置。

背景技术

在半导体器件的制备过程中，常常采用天车装置(OHT，Overhead HoistTransfer)来搬运容置晶圆的晶圆盒。

该晶圆盒的侧壁设有能打开或关闭该晶圆盒的盖体，且该盖体能与晶圆盒分离。在搬运过程中，若晶圆盒的盖体倾斜，即处于未关闭的状态时，该盖体容易坠落，从而引发安全事故。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

实用新型内容

本公开的目的在于提供一种天车装置及物料搬送装置，能够避免由于晶圆盒的盖体未关闭所引发的安全事故。

根据本公开的一个方面，提供一种天车装置，包括行驶组件、抓取组件、升降机构、第一检测装置以及控制装置。所述行驶组件能够沿着悬空设置的轨道移动。所述抓取组件能够抓取或松开晶圆盒。所述升降机构连接于所述行驶组件与所述抓取组件之间，用于驱动所述抓取组件在竖直方向上移动。所述第一检测装置在水平方向上位于所述抓取组件的一侧，并与所述抓取组件连接，用于检测所述第一检测装置正下方的预设范围内是否存在障碍物，且在所述第一检测装置正下方的预设范围内存在障碍物时，发出第一信号。所述控制装置，用于在接收到所述第一信号时，控制所述抓取组件保持松开状态。

在本公开的一种示例性实施例中，所述天车装置还包括第二检测装置。所述第二检测装置用于在所述抓取组件移动至所述预设位置时，发出第二信号。其中，所述控制装置用于在接收到所述第二信号，且未接收到所述第一信号时，控制所述抓取组件抓取晶圆盒。

在本公开的一种示例性实施例中，所述天车装置还包括警报装置。所述警报装置与所述控制装置连接，所述控制装置用于在接收到所述第一信号时，控制所述警报装置发出警报。

在本公开的一种示例性实施例中，所述警报装置为蜂鸣器或警示灯。

在本公开的一种示例性实施例中，所述行驶组件形成有朝向所述抓取组件开放的容置空间，所述抓取组件以及所述抓取组件抓取的所述晶圆盒能够容置于所述容置空间内。

在本公开的一种示例性实施例中，所述行驶组件形成有两个朝远离所述行驶组件的方向延伸的延伸部，两个所述延伸部之间的区域构成所述容置空间，其中，所述远离所述行驶组件的方向与所述竖直方向平行。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一检测装置为光电传感器。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一检测装置固定或可拆卸地连接于所述抓取组件。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第二检测装置为位置传感器。

在本公开的一种示例性实施例中，所述升降机构包括牵引绳和收放装置。所述牵引绳的一端连接于所述抓取组件。所述收放装置固定于所述行驶组件，并与所述牵引绳的另一端连接，用于收或放所述牵引绳。

根据本公开的一个方面，提供一种物料搬送装置，包括轨道和上述任一项所述的天车装置。所述轨道悬空设置。所述行驶组件能够沿着所述轨道移动。