[实用新型]一种非制冷红外焦平面阵列探测器有效
| 申请号： | 201821840651.1 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN209027681U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王大甲;许勇;周龙飞;王春雷 | 申请（专利权）人： | 无锡元创华芯微机电有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 上海襄荣专利代理事务所(特殊普通合伙) 31329 | 代理人： | 祝辽原 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种非制冷红外焦平面阵列探测器，涉及红外探测器技术领域。其包括：硅衬底、桥面层、四锚柱支撑的桥臂层；桥面层设置有热敏感层和红外热辐射吸收层，桥臂层设置有钝化层和金属导电层，硅衬底设置有读出电路和金属反射层；桥面层与桥臂层相互平行设置并通过支撑柱连接，桥臂层悬空设置在硅衬底上且通过四个锚柱与硅衬底连接；桥面层和桥臂层之间具有第一真空间隙层；桥臂层和硅衬底之间具有第二真空间隙层。本实用新型提供的一种非制冷红外焦平面阵列探测器，可以增加探测器桥臂热绝缘性能，提高红外吸收层的有效面积，通过四锚柱支撑保证多层结构的平整性，稳定性，从而实现更低、均匀的探测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 桥臂 硅衬底 桥面层 非制冷红外焦平面 阵列探测器 锚柱 本实用新型 真空间隙层 红外热辐射 红外探测器 红外吸收层 金属导电层 金属反射层 读出电路 多层结构 平行设置 热敏感层 悬空设置 有效面积 钝化层 平整性 热绝缘 吸收层 支撑柱 探测器 支撑 探测 保证 | ||
【主权项】：
1.一种非制冷红外焦平面阵列探测器，其特征在于，包括：硅衬底、桥面层、四锚柱支撑的桥臂层；所述桥面层设置有热敏感层和红外热辐射吸收层，所述桥臂层设置有钝化层和金属导电层，所述硅衬底设置有读出电路和金属反射层；所述桥面层与所述桥臂层相互平行设置并通过支撑柱连接，所述桥臂层悬空设置在所述硅衬底上且通过四个锚柱与所述硅衬底连接；所述桥面层和所述桥臂层之间具有第一真空间隙层；所述桥臂层和所述硅衬底之间具有第二真空间隙层。
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