[实用新型]一种真空镀膜生产线有效
| 申请号： | 201821812062.2 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN209338657U | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 肇庆市前沿真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人： | 朱亚 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。所述真空镀膜生产线包括至少一个工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内的第一传送机构和第二传送机构、回转室，所述真空室与回转室连接。通过在一个真空室里并列设置进片腔和出片腔，所述进片腔和出片腔内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室里完成两个工序，有效的减少真空室的使用数量；再通过设置一个与真空室连接的回转室，即可将流出产线的工件小车转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本实用新型具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 传送机构 出片 进片 真空镀膜生产线 回转室 腔内 本实用新型 并列设置 工件小车 产线 返回装置 工作效率 真空镀膜 流出 小车 传送 投资 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜生产线，其特征在于，包括至少一个用于固定工件的工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内用于运输工件小车的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔流出的工件小车传送进入出片腔的回转室，所述真空室与回转室连接。
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